تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية طرق تمييز ومعايرة محاور مسح مجاهر مسبار المسح لقياس الكميات الهندسية عند أعلى مستوى. وتنطبق على المجاهر التي توفر المزيد من المعايرة وغير المخصصة للاستخدام الصناعي العام، حيث قد تكون هناك حاجة إلى مستوى أدنى من المعايرة. تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية الأهداف التالية: - زيادة إمكانية مقارنة قياسات الكميات الهندسية التي تُستخدم فيها مجاهر مسبار المسح بواسطة التتبع إلى وحدة الطول، - تحديد الحد الأدنى للمتطلبات المعايرة وشروط القبول. - التأكد من قدرة الأدوات التي ستتم معايرتها (تعيين فئة \"قدرة المعايرة \" في الأداة)، - تحديد نطاق المعايرة (ظروف القياس والبيئات، ونطاقات القياس والاستقرار المؤقت وقابلية النقل)، - تقديم نموذج وفقًا لدليل ISO/IEC رقم 98-3، لحساب اللايقين للكميات الهندسية البسيطة في القياسات باستخدام مجهر مسبار المسح، - تحديد متطلبات كتابة تقارير النتائج.